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] 几天后,另一个被启发的方案成型了——超高真空原子层沉积技术优化方案。
陈工接过图纸,只看了几眼,眼珠子就瞪圆了。
苏定平喘著气,眼中跳跃著灼热的光。
数据——「面型精度RMS误差。
「既然抛光能借鉴等离子体约束的思路,那这多层沉积……」
他再次扎入浩如烟海的仿星器研究档案中。
显示屏上,代表著镜面平整度的三维彩色云图呈现惊人的淡蓝色,核心区域的那一抹刺眼的、象征高误差区的赤红色……消失了!
他抓起图纸冲到隔壁的抛光实验室,声音沙哑却透著难以抑制的激动。
这仿星器搞出的一点一滴,都是宝贝!」
「仿星器的离子束约束技术!基础打得牢实,高点的墙也能翻过去!就按这个干!」
「老祖宗说的没错啊,技多不压身!
「先人栽树。」
陈工吼了一声,带著团队冲进了改造好的实验间。
难题并未消失,但破除了前一个壁垒,苏定平的思路仿佛被打通了奇经八脉。
检测员的声音都在颤抖,带著难以置信的狂喜。
但抛光只是第一步,解决了镜面毛坯,上面还需要镀上那关键的十四层纳米级的薄膜阵列!每层的厚度误差,依然死死卡著那令人绝望的0.1n限。
「反射层必须不同材料交替沉积……原子层精确控制……层间干扰……」
≤0.08n,一向沉稳的脸上也忍不住露出一丝狂喜的潮红。
「老陈!按这个方案!立刻!准备实验!」
几天后,当第一面利用这全新工艺抛光出来的镜片核心基材,在比原子力显微镜更为精密的相位干涉轮廓仪下进行面型扫描时,整个检测间鸦雀无声。
他用力揉了一把脸,眼中闪烁著晶莹。
「离子束束径控制到0.5微米?能量分级补偿?这思路……绝了!苏总工……这……你从哪想出来的?」
利用类似仿星器控制磁约束边界层原理,通过精确调控真空腔环境、前驱体脉冲时间、以及复杂的基片温场,在镜坯表面逐层、逐原子地构建那十四层复杂的光学膜系!
新的镀膜方案投入紧张的实验试制。(本章完)
「天哪!我们……做到了!低于0.1n甚至低于目标精度!」
「干了!」
成功了!全新的超精密离子束抛光技术,在仿星器前期研究积累的基石上,硬生生凿开了反射镜加工技术的第一道天堑!苏定平看著屏幕上的结果,长长地、长长地吐出了一口压在胸中不知多久的浊气。
「RMS……0.078n」
] 几天后,另一个被启发的方案成型了——超高真空原子层沉积技术优化方案。
陈工接过图纸,只看了几眼,眼珠子就瞪圆了。
苏定平喘著气,眼中跳跃著灼热的光。
数据——「面型精度RMS误差。
「既然抛光能借鉴等离子体约束的思路,那这多层沉积……」
他再次扎入浩如烟海的仿星器研究档案中。
显示屏上,代表著镜面平整度的三维彩色云图呈现惊人的淡蓝色,核心区域的那一抹刺眼的、象征高误差区的赤红色……消失了!
他抓起图纸冲到隔壁的抛光实验室,声音沙哑却透著难以抑制的激动。
这仿星器搞出的一点一滴,都是宝贝!」
「仿星器的离子束约束技术!基础打得牢实,高点的墙也能翻过去!就按这个干!」
「老祖宗说的没错啊,技多不压身!
「先人栽树。」
陈工吼了一声,带著团队冲进了改造好的实验间。
难题并未消失,但破除了前一个壁垒,苏定平的思路仿佛被打通了奇经八脉。
检测员的声音都在颤抖,带著难以置信的狂喜。
但抛光只是第一步,解决了镜面毛坯,上面还需要镀上那关键的十四层纳米级的薄膜阵列!每层的厚度误差,依然死死卡著那令人绝望的0.1n限。
「反射层必须不同材料交替沉积……原子层精确控制……层间干扰……」
≤0.08n,一向沉稳的脸上也忍不住露出一丝狂喜的潮红。
「老陈!按这个方案!立刻!准备实验!」
几天后,当第一面利用这全新工艺抛光出来的镜片核心基材,在比原子力显微镜更为精密的相位干涉轮廓仪下进行面型扫描时,整个检测间鸦雀无声。
他用力揉了一把脸,眼中闪烁著晶莹。
「离子束束径控制到0.5微米?能量分级补偿?这思路……绝了!苏总工……这……你从哪想出来的?」
利用类似仿星器控制磁约束边界层原理,通过精确调控真空腔环境、前驱体脉冲时间、以及复杂的基片温场,在镜坯表面逐层、逐原子地构建那十四层复杂的光学膜系!
新的镀膜方案投入紧张的实验试制。(本章完)
「天哪!我们……做到了!低于0.1n甚至低于目标精度!」
「干了!」
成功了!全新的超精密离子束抛光技术,在仿星器前期研究积累的基石上,硬生生凿开了反射镜加工技术的第一道天堑!苏定平看著屏幕上的结果,长长地、长长地吐出了一口压在胸中不知多久的浊气。
「RMS……0.078n」
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