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] 他又扑到一旁的检测仪器前，不顾身份地亲自操作，将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹！薄膜的均匀性、层间的界限清晰度，都让郑玉的眼睛越瞪越大。
「这……简直是机械工程的珠穆朗玛峰！比反射镜只难不易！」
「成了……真他娘的……干成了！」
「这相当于在一万米外投篮球，误差不能超过一根头发的直径！」
他知道苏定平现在在做的事情，更清楚龙心实验室目前顶著多大的压力。
袁涛看著报告上那令人眩晕的数据对比，嘴唇微微翕动了几下，最终只发出几个嘶哑的音节。
办公室里一片死寂。
「移动速度要达到每秒数米以上！」
他一把抓住苏定平的手，握得死紧。
又是一条绝路！
「老袁，你们集中力量，协助我完成对工作台运动系统核心基础设计的深度优化！我需要你们解决系统动力学和磁路设计的关键理论问题！」
「定平。」
「也就是说，支撑这两个台子运动的核心——精密轴承系统，要求能在超高真空、零润滑、极高速度、极强动力学负载、极低热变形……这一大堆地狱级条件下，还能稳定地实现纳米级的定位精度和重复定位精度……」
「移动精度要控制在小于3纳米以内！」
苏定平的目光紧紧锁定著设计板上那两个刺目的组件框图，仿佛要将它们烧穿。资金的压力、时间的紧迫、外界无数目光的灼热与审视……一股沉重的洪流再次压向他的心脏和每一个毛孔。
≤0.08n薄膜层厚均匀度误差。
袁涛加重了语气，指著旁边巨大的真空腔体框架。
他走到堆满图纸的大桌子前，一把扯开上面覆盖的保护膜，露出下面早已铺开、标注了大量复杂符号和线条的原始设计图。
「只能自己造！」
郑玉猛地抬起头，眼神直勾勾盯著苏定平，声音带著激动和难以置信的颤抖。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸，戴上老花镜，他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份，拿著图纸的手就猛地一抖！眼神陡然锐利得像探照灯，死死盯著图纸上「离子束原子级刻蚀」、「动态补偿模型」的字眼和结构图。
一条比反射镜更为艰难百倍的绝路！引进的大门被彻底焊死、浇铸成了铁桶！
「实测RMS误差0.078n首批试验片全部在这个数值区间。」
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上，硬生生被砸出了一个巨大的缺口！
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
「通知一体化军工厂那边，暂停原来的任务序列！最高优先级！」
袁涛的声音透著前所未有的凝重。
「根据最新情报和我们采购部门的确认反馈，这类涉及最尖端光刻技术的核心运动部件及技术，已经正式被列入对我们部落的最高级别禁运清单！连根毛都别想买到了！」
「更要命的是。」
「这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的矽晶片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。」
「这技术！
「立刻带人，按照我们优化后的设计图纸，给我搭建一个……最接近未来工况的超真空动态测试样舱！不需要多大，但要能在里面进行核心运动部件的真空环境动态模拟测试！速度，越快越好！我需要验证所有理论模型的边界！钱……」
他几乎是吼出来的。
「能满足这些要求的……无论是超精密磁悬浮轴承系统、气浮导轨轴承还是基于压电陶瓷的纳米定位平台的核心技术和关键部件……几乎全被东荒部落的东瀛精机和维京部落的几家公司垄断！而且……」
就凭这张图，这份工艺，我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜，而且性能，绝对能压ASM一头！彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙！」
「至于那些精密轴承……无论是超精密磁悬浮的磁极与线圈、气浮轴承的微孔节流结构、还是压电纳米驱动器的核心材料与驱动晶片……」
「你这份图纸和工艺一到，就是我们全所的冲锋号！」
所长郑玉，一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员，亲自在研究所门口迎接。
「终于……迈出了实质性的一大步。」
「温度场梯度驱动原子吸附」、「分子级脉冲阀门时序控制」……他的呼吸陡然变得粗重起来！
郑玉拍著胸脯。
「郑所长，龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破，这是工艺图纸和试验样品的数据报告。」
苏定平沉声道。
这太奢侈了！
几个月后，第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统，在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
这一刻，没人欢呼雀跃，反而是一阵死一般的寂静。
郑玉倒吸一口冷气！
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随著巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强！还要稳定！强一截！」
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
「苏总工！你们……你们这是怎么搞出来的？这思路……这工艺！完全是颠覆性的！跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念！还有这ALD工艺的改进点，简直神了！」
另一位负责机械系统的工程师几乎是呻吟出来。
苏定平转向另一位。
袁涛再次打破沉默，语气冰冷得如同北极寒风。
「苏总工！
这精度！别说合格！
「继续燃烧也要保证投入！」
他猛地抬起眼，声音不高，却带著不容置疑的决绝，像凿子钉进花岗岩。
会议室内，苏定平没有客套，直接将图纸和样品推了过去。
苏定平感受著手臂上传来的巨大力量，看著眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒，心中悬著的一块巨石终于落下一半。
拿著那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册，以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片，苏定平带著技术转让意向书，亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
苏定平深深明白，即便龙心实验室掌握了核心工艺，也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
他顿了顿，一字一句道。
「这一切，都要在比地球表面最干净的地方还要干净千万倍的超真空环境里完成！普通的机械轴承在那种环境下，连动都动不了几下，更别说纳米级的精度了！摩擦、润滑、防震、热量控制……全是死结！」
这确实是当前摆在面前的最硬的骨头之一！比多层膜反射镜更需要整个国家精密制造工业体系的支撑！
「老郑？」
≤0.09n综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品」。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题，犹如两座必须翻越的冰山。
苏定平重重地靠倒在椅背上，仰头看著天花板刺眼的日光灯。
他手指重重地点在图纸上几个用红圈标注的关键点上。
「陈工！」
「设计图，我可以根据理论一步步搞出
「好！好！太好了！苏总工！了不起！太了不起了！」
紧接著，目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
「你们抛光的面型精度……」
他咬了咬牙。
他抬起手，指尖指著面板上的技术指标，那数字触目惊心。
「没问题！」
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时，所有人看到那醒目的结论——「核心面型精度RMS误差。
「还有位置反馈系统，解析度要达到亚纳米级别！现有的雷射干涉仪技术，在常温大气中都很难稳定达到这个量级，更别说在真空里还要抵抗各种难以预计的微扰动……」
「这……这图纸……」
这份图纸和技术，我们927所，全力配合！我们有全国最好的光学冷加工基地，有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干！我敢立军令状！
郑玉猛地站起身，转过身，脸上因为激动涨得通红，他用力拍著自己的大腿。
他放下图纸，几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片，对著光仔细查看那光滑如无物般的表面。
「那就拜托郑所长了！时间紧！需要哪方面的协同实验，龙心团队全力配合！」
陈工在一旁补充，脸色也很难看。
「我看了资料。」
他闭上眼，轻声说道。
旁边几位副所长看他半天不说话，著急地催促。
郑玉一开始神情凝重。
] 他又扑到一旁的检测仪器前，不顾身份地亲自操作，将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹！薄膜的均匀性、层间的界限清晰度，都让郑玉的眼睛越瞪越大。
「这……简直是机械工程的珠穆朗玛峰！比反射镜只难不易！」
「成了……真他娘的……干成了！」
「这相当于在一万米外投篮球，误差不能超过一根头发的直径！」
他知道苏定平现在在做的事情，更清楚龙心实验室目前顶著多大的压力。
袁涛看著报告上那令人眩晕的数据对比，嘴唇微微翕动了几下，最终只发出几个嘶哑的音节。
办公室里一片死寂。
「移动速度要达到每秒数米以上！」
他一把抓住苏定平的手，握得死紧。
又是一条绝路！
「老袁，你们集中力量，协助我完成对工作台运动系统核心基础设计的深度优化！我需要你们解决系统动力学和磁路设计的关键理论问题！」
「定平。」
「也就是说，支撑这两个台子运动的核心——精密轴承系统，要求能在超高真空、零润滑、极高速度、极强动力学负载、极低热变形……这一大堆地狱级条件下，还能稳定地实现纳米级的定位精度和重复定位精度……」
「移动精度要控制在小于3纳米以内！」
苏定平的目光紧紧锁定著设计板上那两个刺目的组件框图，仿佛要将它们烧穿。资金的压力、时间的紧迫、外界无数目光的灼热与审视……一股沉重的洪流再次压向他的心脏和每一个毛孔。
≤0.08n薄膜层厚均匀度误差。
袁涛加重了语气，指著旁边巨大的真空腔体框架。
他走到堆满图纸的大桌子前，一把扯开上面覆盖的保护膜，露出下面早已铺开、标注了大量复杂符号和线条的原始设计图。
「只能自己造！」
郑玉猛地抬起头，眼神直勾勾盯著苏定平，声音带著激动和难以置信的颤抖。
他知道EUV反射镜的要求有多变态。接过图纸，戴上老花镜，他只是看了第一页核心工艺原理的总述部份，拿著图纸的手就猛地一抖！眼神陡然锐利得像探照灯，死死盯著图纸上「离子束原子级刻蚀」、「动态补偿模型」的字眼和结构图。
一条比反射镜更为艰难百倍的绝路！引进的大门被彻底焊死、浇铸成了铁桶！
「实测RMS误差0.078n首批试验片全部在这个数值区间。」
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上，硬生生被砸出了一个巨大的缺口！
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
「通知一体化军工厂那边，暂停原来的任务序列！最高优先级！」
袁涛的声音透著前所未有的凝重。
「根据最新情报和我们采购部门的确认反馈，这类涉及最尖端光刻技术的核心运动部件及技术，已经正式被列入对我们部落的最高级别禁运清单！连根毛都别想买到了！」
「更要命的是。」
「这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的矽晶片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。」
「这技术！
「立刻带人，按照我们优化后的设计图纸，给我搭建一个……最接近未来工况的超真空动态测试样舱！不需要多大，但要能在里面进行核心运动部件的真空环境动态模拟测试！速度，越快越好！我需要验证所有理论模型的边界！钱……」
他几乎是吼出来的。
「能满足这些要求的……无论是超精密磁悬浮轴承系统、气浮导轨轴承还是基于压电陶瓷的纳米定位平台的核心技术和关键部件……几乎全被东荒部落的东瀛精机和维京部落的几家公司垄断！而且……」
就凭这张图，这份工艺，我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜，而且性能，绝对能压ASM一头！彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙！」
「至于那些精密轴承……无论是超精密磁悬浮的磁极与线圈、气浮轴承的微孔节流结构、还是压电纳米驱动器的核心材料与驱动晶片……」
「你这份图纸和工艺一到，就是我们全所的冲锋号！」
所长郑玉，一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员，亲自在研究所门口迎接。
「终于……迈出了实质性的一大步。」
「温度场梯度驱动原子吸附」、「分子级脉冲阀门时序控制」……他的呼吸陡然变得粗重起来！
郑玉拍著胸脯。
「郑所长，龙心实验室在EUV光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破，这是工艺图纸和试验样品的数据报告。」
苏定平沉声道。
这太奢侈了！
几个月后，第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统，在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
这一刻，没人欢呼雀跃，反而是一阵死一般的寂静。
郑玉倒吸一口冷气！
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随著巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强！还要稳定！强一截！」
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
「苏总工！你们……你们这是怎么搞出来的？这思路……这工艺！完全是颠覆性的！跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念！还有这ALD工艺的改进点，简直神了！」
另一位负责机械系统的工程师几乎是呻吟出来。
苏定平转向另一位。
袁涛再次打破沉默，语气冰冷得如同北极寒风。
「苏总工！
这精度！别说合格！
「继续燃烧也要保证投入！」
他猛地抬起眼，声音不高，却带著不容置疑的决绝，像凿子钉进花岗岩。
会议室内，苏定平没有客套，直接将图纸和样品推了过去。
苏定平感受著手臂上传来的巨大力量，看著眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒，心中悬著的一块巨石终于落下一半。
拿著那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ALD工艺手册，以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片，苏定平带著技术转让意向书，亲自找上了龙夏部落负责光学元件顶尖研发的927研究所。
苏定平深深明白，即便龙心实验室掌握了核心工艺，也没有必要也没有能力为这一个环节单独建立一条大规模的生产线。
他顿了顿，一字一句道。
「这一切，都要在比地球表面最干净的地方还要干净千万倍的超真空环境里完成！普通的机械轴承在那种环境下，连动都动不了几下，更别说纳米级的精度了！摩擦、润滑、防震、热量控制……全是死结！」
这确实是当前摆在面前的最硬的骨头之一！比多层膜反射镜更需要整个国家精密制造工业体系的支撑！
「老郑？」
≤0.09n综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品」。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题，犹如两座必须翻越的冰山。
苏定平重重地靠倒在椅背上，仰头看著天花板刺眼的日光灯。
他手指重重地点在图纸上几个用红圈标注的关键点上。
「陈工！」
「设计图，我可以根据理论一步步搞出
「好！好！太好了！苏总工！了不起！太了不起了！」
紧接著，目光又落在旁边那份薄薄的ALD工艺优化纲要上。
「你们抛光的面型精度……」
他咬了咬牙。
他抬起手，指尖指著面板上的技术指标，那数字触目惊心。
「没问题！」
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时，所有人看到那醒目的结论——「核心面型精度RMS误差。
「还有位置反馈系统，解析度要达到亚纳米级别！现有的雷射干涉仪技术，在常温大气中都很难稳定达到这个量级，更别说在真空里还要抵抗各种难以预计的微扰动……」
「这……这图纸……」
这份图纸和技术，我们927所，全力配合！我们有全国最好的光学冷加工基地，有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干！我敢立军令状！
郑玉猛地站起身，转过身，脸上因为激动涨得通红，他用力拍著自己的大腿。
他放下图纸，几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片，对著光仔细查看那光滑如无物般的表面。
「那就拜托郑所长了！时间紧！需要哪方面的协同实验，龙心团队全力配合！」
陈工在一旁补充，脸色也很难看。
「我看了资料。」
他闭上眼，轻声说道。
旁边几位副所长看他半天不说话，著急地催促。
郑玉一开始神情凝重。
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